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充氮烤箱

充氮烤箱

更新時間:2019-08-01

產品特點:
充氮烤箱,用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
產品介紹

一、充氮烤箱溫控系統:

1.型號:

型號

內箱尺寸(mm

外箱尺寸mm

HE-27-300

W300*H300*300

W800*H520*D475

HE-72-300

W450*H400*400

W910*H610*D570

HE-150-300

W500*H600*500

W750*H1190*D680

HE-240-300

W600*H800*500

W850*H1390*D680

HE-270-300

W600*H900*500

W850*H1490*D680

HE-480-300

W800*H1000*600

W1050*H1660*D785

HE-672-300

W800*H1200*700

W1050*H1860*D885

2.溫度范圍:RT+10℃~300℃

3.溫控表精度:±0.01℃

4.溫控表波動度:±0.5℃

5.溫度均勻度:±2℃

6.升溫速率:RT~100℃(約10分鐘左右)

7.定時器設定:1秒-9999時(可選擇設定小時、分鐘、秒)溫到計時,時間至切斷加熱電流;8.感溫線(K)型;

9.加熱控制為:固態繼電器SSR無接點,保持電流的高穩定性;

10.加熱元件為:不銹鋼耐高溫加熱管,無污染且使用壽命長;

11.溫控儀表為PID數顯儀表(中國臺灣臺松儀表),單點式控溫,可自動演算,PV/SV同時顯示,按鍵設定。

二、充氮烤箱箱體結構:

1.控制器位于機臺上方,不銹鋼豪華拉手,配防爆鎖門扣。

2.開門方式:單門由右至左開啟

3.可視窗:門上有可視窗

4.內材質為SUS304鏡面不銹鋼,厚1.0mm,耐腐蝕性強。

5.外材質為SECC鋼板,板厚為1.2mm  精粉體烤漆處理。

6.保溫材質為耐高溫高密度玻璃巖棉,隔熱性好,大限度地保證溫度保溫性,防密之迫緊材質為耐高溫硅膠,可長時間承受高溫。

7.隔層:內箱分為二層,底起80mm*層,以上平分,配網板二塊

三、充氮氣裝置

1、調壓閥:控制氮氣壓力,正常使用下氮氣壓力調為2.5公斤左右;

2、面板流量計:控制氮氣進入箱內的大小,量程為10L/min-60Lmin;

3、氮氣管道進入到箱內正后面,調壓閥處預留8mm快插氣管接口;

4、注:氮氣由用戶自備。



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